加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备.pdf

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本申请提供一种加速度计、惯性测量单元IMU和电子设备，通过第一锚点区域位于第一轴加速度计的中心位置，有助于降低加速度计的零偏、标度因子等参数的温度系数，提高器件的稳定性。该加速度计包括上盖板层、第一轴加速度计和衬底层，第一轴加速度计包括第一锚点区域、悬臂梁、第一检验质量、第一活动电极、第二活动电极、第一固定电极、第二固定电极、第二锚点区域和第三锚点区域；第一检验质量通过悬臂梁支撑悬空于底层上方；第一锚点区域、第二锚点区域、第三锚点区域分别连接于衬底层和/或上盖板层，第一锚点区域位于第一轴加速度计

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114509578 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202011187895.6 (22)申请日 2020.10.29 (71)申请人华为技术有限公司地址 51812