- 1、本文档共24页,其中可免费阅读23页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一种半导体结构的形成方法,形成方法包括:所述基底包括分立的器件区,所述器件区包括相间隔的第一区域和第二区域,在所述第一区域和第二区域的所述堆叠材料层上形成掩膜层的步骤中,各个所述掩膜层的均一性较高,在所述第一区域的掩膜层和第二区域的掩膜层之间形成的牺牲掩膜层的均一性较高,因为所述牺牲掩膜层的耐刻蚀度小于所述掩膜层的耐刻蚀度,以所述掩膜层和牺牲掩膜层为掩膜刻蚀所述堆叠材料层,形成器件开口的步骤中,多个所述牺牲掩膜层的被去除速率的均一性较好,且易同时去除被去除,有利于使得器件开口的均一性较高,从而在
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114512445 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202011278814.3
(22)申请日 2020.11.16
(71)申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新必威体育精装版专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)