操作装置与两个工件之间的分布式间距补偿方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于四川
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操作装置与两个工件之间的分布式间距补偿方法.pdf

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本发明实施例提供了一种操作装置与两个工件之间的分布式间距补偿方法，涉及测量和控制技术以及精密制造技术领域。操作装置包括：控制系统、至少一个间距补偿单元、第一支撑层、操作工件以及多个传感器；传感器用于测量操作工件与被测工件待操作表面上的对应位置之间的距离；控制系统用于根据各传感器测量得到的距离，控制各间距补偿单元对操作工件上对应的目标部分与被测工件之间的距离进行调整，以使操作工件与被测工件相对的两个面的形状匹配；目标部分为操作工件与间距补偿单元重叠的部分。本发明中，使得操作工件的下表面与被测工件的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114530400 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202210146129.8 (22)申请日 2022.02.17 (71)申请人前微科技（上海）有限公司地址 2