一种高温线性蒸发源装置.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种高温线性蒸发源装置.pdf

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本发明公开了一种高温线性蒸发源装置，包括水平放置底板，所述水平放置底板外表面的两侧均固定连接有真空罩外壳，所述真空罩外壳内壁的两侧均固定连接有高度微调装置，所述高度微调装置的数量设置为四个，所述高度微调装置为两两对称设置，所述高度微调装置包括与真空罩外壳固定连接的竖直稳定板，本发明涉及蒸发源技术领域。该高温线性蒸发源装置，装置能够通过对电机进行操控，进而控制倾斜角块对放置槽块的高度进行微调，从而保持放置槽块处于水平状体，进而能保持装置长期稳定工作，解决了蒸发源放置时，如果未能达到水平位置就关闭真

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114517285 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202210151668.0 (22)申请日 2022.02.18 (71)申请人武汉普昊科技有限公司地址 430