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本发明提供一种多层阻抗软板生产工艺，其包括贴内层干膜；内层LDI曝光；内层干膜显影；内层蚀刻；内层自动光学检测；叠合；压合；钻孔；镀铜；垂直连续电镀；贴外层干膜；外层LDI曝光；外层干膜显影；外层蚀刻；外层自动光学检测；贴压覆盖膜；沉金；阻抗测试。本发明提供的优化后的多层阻抗软板生产工艺，线路转移时采用LDI曝光代替传统菲林底片曝光，并且，工艺流程还减少了菲林底片潜像、菲林显影、菲林定影、菲林对位的工艺，生产时减少了线路影像转移工具，避免了工具制作过程带来的偏差；该工艺流程中采用VCP电镀替代传
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114521071 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210077439.9
(22)申请日 2022.01.24
(71)申请人 珠海市凯诺微电子有
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