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本申请涉及一种半导体模组芯片溅镀制程后的高精度顶胶取放设备,涉及芯片生产技术领域,其包括机架,机架上设置有上料装置、旋转装置、搬运装置、拆芯片装置、空治具搬运装置、下料装置以及运输装置。芯片溅镀制程后,将治具和产品一起放置在上料装置上,上料装置将治具移动到旋转装置下侧,旋转装置夹起带有芯片的治具,然后旋转装置上升,之后搬运装置来到旋转装置上方,将治具和芯片一起搬运到拆芯片装置上方,芯片和治具脱离后,治具来到空治具搬运装置将治具搬起,随后下料装置将芯片取下,最后通过运输装置对芯片进行运输。本申请具
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114530398 A
(43)申请公布日 2022.05.24
(21)申请号 202210107031.1
(22)申请日 2022.01.28
(71)申请人 牧哲(上海)自动化科技有限公司
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