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本发明属于光电探测器芯片贴装工艺技术领域,具体涉及一种单元类器件同心度辅助贴装装置,包括:对位平台和视觉显微镜;所述对位平台用于管座的装夹和位置调节,视觉显微镜用于器件图案和参考模板显示;对位平台包括:管座夹具、X‑Y‑R微动台和固定底板,三者之间连接;本发明基于对位平台和同心圆参考模板进行对位贴装,相比传统手动贴装方法,对位精度和一致性更高,贴装后无需再次进行同心度测试。本发明采用显示器进行图像显示,相比肉眼在显微镜视场下观察更加便捷,同时有利于缓解作业疲劳。本发明的载盘可沿圆周装夹多只管座,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518081 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202111622145.1
(22)申请日 2021.12.28
(71)申请人 西南技术物理研究所
地址 6100
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