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本发明涉及PBC正片蚀刻技术领域,尤其是一种半孔产品加工时孔口用的防堆油装置,包括第一固定板、第二固定板和多个支撑架,多个支撑架均固定在第一固定板和第二固定板上,还包括:半孔防堆油机构,所述半孔防堆油机构固定在所述第二固定板上,所述半孔防堆油机构包括多个半孔防堆油组件和两个凹槽,多个所述半孔防堆油组件均分固定在所述第二固定板上,两个所述凹槽分别贯穿设在所述第二固定板上,所述半孔防堆油组件包括圆盘、第一直线电机、第二直线电机、第二电动伸缩杆和安装组件,所述圆盘和第二电动伸缩杆均固定在所述安装组件上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114515878 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202210169643.3
(22)申请日 2022.02.23
(71)申请人 东莞市科佳电路有限公司
地址 52
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