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本发明公开了一种制造方法和一种超级结MOSFET。超级结MOSFET包括在第一导电类型的重掺杂衬底上的第一导电类型的轻掺杂外延层,在外延层中形成深沟槽。所述深沟槽具有在所述深沟槽的表面上形成的具有厚度梯度的绝缘层。靠近深沟槽侧壁的外延层的一个或多个区域掺杂第二导电类型,其中第二导电类型与第一导电类型相反。最后,在外延层中形成MOSFET器件结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114530415 A
(43)申请公布日 2022.05.24
(21)申请号 202111319000.4 H01L 21/223 (2006.01)
(22)申请日 2021.11
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