一种场效应晶体管及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种场效应晶体管及其制备方法.pdf

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本发明提供了一种场效应晶体管及其制备方法。场效应晶体管的制备方法，包括：S10：将包括聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯的原料混合，制成高分子溶液；S20：使用探针接触高分子溶液，拉出高分子丝状物，将高分子丝状物固定在基板上；S30：在基板上蒸镀金属，形成电极；S40：洗去基板上的高分子丝状物，得到场效应晶体管；其中，聚甲基丙烯酸甲酯和聚苯乙烯的质量比为(1‑3):1。本发明利用高分子丝状物制备具备微纳尺寸沟道的场效应晶体管，操作简单，成本较低，且制备的微纳尺寸沟道的场效应晶体管具有良好的性能。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114512611 A (43)申请公布日 2022.05.17 (21)申请号 202210054314.4 (22)申请日 2022.01.18 (71)申请人河南师范大学地址 453007