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本发明涉及传感器技术领域，且公开了一种硅压力传感器的温度补偿方法，包括步骤，首先定义一组参数，采集数据，在不同的温度点和不同压力点下，对压力传感器的输出和桥路电压值进行采集，观察传感器的输出数据与桥路电压数据随基准压力值是单调增加，还是单调减少，该硅压力传感器的温度补偿方法，通过使传感器的输出与桥路电压进行数学运算的结果用作温度信息对传感器进行温度补偿，使得压力传感器的温度信息对压力信息不敏感，从而提高了压力传感器的温度补偿精度。对比用外置温度传感器进行测温补偿的方法，本发明所用的硬件开销较少，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114509190 A
(43)申请公布日 2022.05.17
(21)申请号 202210189487.7
(22)申请日 2022.02.28
(71)申请人 西安思微传感科技有限公司
地址 7
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