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一种具有钝化层的太阳能电池包含掺杂结晶硅基板、上钝化层及下钝化层,该掺杂结晶硅基板具有上表面及下表面,该上钝化层设置于该上表面,该下钝化层设置于该下表面,该下钝化层具有穿隧氧化硅薄膜及掺杂多晶硅薄膜,该穿隧氧化硅薄膜位于该掺杂结晶硅基板及该掺杂多晶硅薄膜之间,其中,该穿隧氧化硅薄膜是以氢氧等离子体对该掺杂结晶硅基板进行处理而形成。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114530507 A
(43)申请公布日 2022.05.24
(21)申请号 202011203247.5
(22)申请日 2020.11.02
(71)申请人 财团法人金属工业研究发展中心
地址
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