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本申请公开了一种激光等离子体极紫外光源系统及其监控方法，系统包括激光源、扫描器、位于一个封闭腔体内的液滴发生器、采集器以及氢气排出管路，还包括位于封闭腔体内的至少一个监控摄像头，且氢气排出管路的入口设置有加热板结构；液滴发生器用于生成锡液滴；激光源用于生成激光脉冲并作用于锡液滴以生成等离子体；采集器用于收集等离子体辐射出的极紫外光线，并将收集的EUV光线聚焦定向到扫描器中；监控摄像头，用于监控生成等离子体过程中所沉积的污染物量，并在污染物量超过预设值时，启动加热板结构的加热功能，以熔化氢气排出管
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114518691 A
(43)申请公布日 2022.05.20
(21)申请号 202011307864.X
(22)申请日 2020.11.19
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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