射频阻抗匹配装置和方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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射频阻抗匹配装置和方法.pdf

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本申请涉及一种射频阻抗匹配装置和方法，所述射频阻抗匹配装置包括：传感器模块、分数阶控制器、驱动模块以及可变阻抗电路。通过传感器模块检测射频发生装置的射频输出阻抗和可变阻抗电路的当前阻抗，由分数阶控制器计算得到可变阻抗电路的当前误差阻抗，使用分数阶PID控制算法确定可变阻抗电路的调整量，并通过驱动模块驱动可变阻抗电路完成阻抗调整，以使阻抗匹配。分数阶控制器中执行的分数阶PID控制算法中设有积分项分数阶因子和微分项分数阶因子，积分项分数阶因子影响可变阻抗电路阻抗的稳态精度，积分项分数阶因子影响可变阻

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518704 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202111600893.X (22)申请日 2021.12.24 (71)申请人深圳市恒运昌真空技术有限公司地址