一种装夹定心方法及硅棒加工设备.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种装夹定心方法及硅棒加工设备.pdf

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本发明提供了一种装夹定心方法及硅棒加工设备，所述装夹定心方法应用于方形硅棒抛光前的装夹定心，所述方法包括：将所述方形硅棒放置于上料台上；获取所述方形硅棒待测边在至少两个位置的边长；基于所述边长与目标边长的差值，确定补偿参数；根据所述补偿参数，调整所述上料台的位置以使所述方形硅棒的轴线与抛光装置的轴心重合。本发明的方法可以使方形硅棒各部位处的磨削量趋于一致，磨削更为均匀，预留的磨削余量可以充分被磨削，不容易加工出不合格的硅棒成品，同时能够避免硅料的浪费，有效节约加工成本。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114523409 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202210119798.6 (22)申请日 2022.02.08 (71)申请人隆基绿能科技股份有限公司地址 7