一种实现Bi2O2Se微米梯台的化学气相沉积的制备方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种实现Bi2O2Se微米梯台的化学气相沉积的制备方法.pdf

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本发明属于Bi2O2Se二维功能材料的生长工艺技术领域，具体涉及一种实现Bi2O2Se微米梯台的化学气相沉积的制备方法，本发发明突破了现在基底及制备工艺生长Bi2O2Se的局限性，选用具有较大晶格差异的(0001)取向Al2O3基片作为衬底，综合控制气体流速、前驱物‑基片的间距、沉积气压、成核时间和温度以及生长时间和温度等参数，结合高温扩散成核、低温结晶生长的制备技术，实现了形状和尺寸可控的Bi2O2Se微米梯台的制备。该方法能够通过综合调控生长条件，获得平面生长、倾斜生长的Bi2O2Se微米梯

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114525494 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202210161095.X (22)申请日 2022.02.22 (71)申请人中山大学地