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本发明涉及基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法。在基板的输送装置中适当地调节基板保持体的温度。一种基板保持体,其设于输送基板的装置,用于保持该基板,其中,该基板保持体具有:陶瓷制的主体部;以及热管,其在所述主体部的内部形成,具备作业流体的流路。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114530404 A
(43)申请公布日 2022.05.24
(21)申请号 202111246532.X
(22)申请日 2021.10.26
(30)优先权数据
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