一种硅材料用化学抛光机.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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一种硅材料用化学抛光机.pdf

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本发明涉及抛光设备技术领域，且公开了一种硅材料用化学抛光机，包括壳体，壳体的内部固定连接有底座，底座的内部固定安装有双轴电机，双轴电机输出轴的一端固定连接有与底座活动套接的抛光垫，壳体的上端卡接有抛光盘。通过连接结构、液压腔、环形连接腔、环形推板的设置，能够将从环形集液腔中进入环形连接腔内部的颗粒较少的抛光液向上挤压，使抛光液能够从出液管流到抛光垫的边缘，对抛光垫上的抛光液进行补充，并且随着双轴电机的持续旋转，能够实现周而复始的将环形集液腔内部经过沉淀的含颗粒物较少的抛光液间歇不断的挤压到抛光垫

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114473850 A (43)申请公布日 2022.05.13 (21)申请号 202210166183.9 (22)申请日 2022.02.23 (71)申请人陈韬地址 230000 安徽省