一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途.pdf

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本发明提供了一种靶材R角半自动抛光系统装置、抛光方法及用途，所述的系统装置包括底座，所述底座的表面设置至少一个抛光单元，所述的抛光单元包括至少两个抛光组件，所述底座的表面开设有至少一个第一滑槽，所述抛光组件在所述第一滑槽内移动，所述的抛光组件包括转动连接的本体与基底，所述的本体上设置至少两个抛光轮。本发明能够有效地将靶材侧边氧化物抛除，提高工作效率，减少人员体力输出，节约作业时间，实现铝靶材R角抛光进入半自动化。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114536176 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210320253.1 B24B 47/12 (2006.01)