一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法.pdf

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本发明涉及化学分析设备技术领域，具体公开了一种多样靶同位置激光剥蚀的小体积剥蚀池及工作方法，包括剥蚀室、样品室和激光系统，剥蚀室包括剥蚀罩壳、密封室和密封隔板，密封室采用梭形柱结构，密封室固定在剥蚀罩壳的内部，剥蚀室的底部设有密封隔板，密封隔板的中部设有样品孔位，用于样品进入密封室；样品室设有样品室壳体、旋转样靶支架和多个样靶，样品室壳体顶部设有插槽，样品室壳体通过插槽连接剥蚀罩壳底部，样靶上放置样品，样靶安装在旋转样靶支架上，用于旋转样靶支架推动样靶上的样品进入样品孔位；本发明设计的样靶在剥蚀

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114544746 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210315316.4 (22)申请日 2022.03.28 (71)申请人山东省地质科学研究院地址 250