换能器单元、阵列、制备方法及能量设备.pdfVIP

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2023-05-11 发布于北京
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换能器单元、阵列、制备方法及能量设备.pdf

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本发明公开了换能器单元、阵列、制备方法及能量设备，换能器单元，包括基底结构、振动结构，振动结构包括中心结构；和环结构，环结构沿周向封闭地形成有空缺，空缺在垂直于周向的方向贯通环结构的主体，中心结构设置于环结构的空缺内，中心结构与环结构之间形成有间隙；和第一连接结构，第一连接结构连接中心结构以及环结构；其中心结构以及环结构均为多层结构，中心结构以及环结构均在沿偏离基底结构的方向顺次地至少设置有第二电极层、压电层以及第一电极层，并且在中心结构中第一电极层的面积不大于压电层的面积。本发明通过优化换能器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114535038 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210192486.8 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人中国科学院苏州纳米技术与纳米仿