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激光源包括被配置为生成第一激光束的第一激光腔室和被配置为接收第一激光束并放大第一激光束以生成第二激光束的第二激光腔室。激光源还包括第一温度致动器和第二温度致动器,第一温度致动器和第二温度致动器被配置为分别控制第一激光腔室中的气体的第一温度和第二激光腔室中的气体的第二温度。激光源还包括温度控制系统,温度控制系统被配置为从第一温度致动器和第二温度致动器接收数据并且基于接收到的数据确定与第一温度致动器和第二温度致动器相关联的阈值。该阈值被第一温度致动器和第二温度致动器用于控制第一温度和第二温度。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114616522 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202080074791.6 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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