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本发明公开了一种基于粗精级驱动组件并联的支腿型多维微振动模拟器,包括上平台和下平台,支撑座安装在下平台上;粗级驱动组件固定在支撑座上;精级驱动组件与粗级驱动组件并联形成驱动支腿;连接轴的一端与上平台相连;连接轴的另一端与精级驱动组件相连;多组重力卸载系统均匀分布于下平台上并通过外力钩挂形成装置吊起以实现重力卸载;单独驱动粗级驱动组件形成大输出力以实现调控大量级、粗分辨率;单独驱动精级驱动组件形成小输出力以实现调控小分辨率;同时驱动精级驱动组件与粗级驱动组件以实现大量程、高分辨率的多维微振动输出;
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114608775 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210252779.0
(22)申请日 2022.03.15
(71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物
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