辅助WAT生产监控的方法及装置.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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辅助WAT生产监控的方法及装置.pdf

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本发明提供一种辅助WAT生产监控的方法，持续获取多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中晶圆的lot信息；将多个WAT机台的测试信息、机台状态以及置于WAT机台中的lot信息整合至显示界面，显示界面用于显示每个WAT机台对应的测试信息、机台状态以及lot信息；根据显示界面筛选出符合设置条件的WAT机台中的lot信息。本发明的方法可监控WAT机台测试lot状态，帮助判断待测lot测试顺序，提高了监控效率。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114609500 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210235438.2 (22)申请日 2022.03.11 (71)申请人上海华力集成电路制造有限公司地址