用于压印微米结构和/或纳米结构的装置和方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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用于压印微米结构和/或纳米结构的装置和方法.pdf

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本发明涉及一种用于将结构压印到压印料中的装置(1)，所述装置具有用于将所述结构压印到所述压印料中的结构印模(4,4,4,4,4iv,4v,4vi,4vii,4viii)，其特征在于，在压印和与所述压印料分离期间，结构印模(4,4,4,4,4iv,4v,4vi,4vii,4viii)能够保持在恒定的局部应变下。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114600043 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 201980101442.6 (51)Int.Cl.