一种具有高增益的二维光电探测器及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种具有高增益的二维光电探测器及其制备方法.pdf

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本发明属于光电探测技术领域，具体为一种具有高增益的二维光电探测器及其制备方法。该二维光电探测器基于MoS2、hBN、BP、WSe2垂直结构，具有光电流放大增益效果和宽谱响应。制备步骤包括：利用PDMS胶带机械剥离特定层数范围内的MoS2、hBN、BP、WSe2；再将剥离好的材料转移到表面沉积SiO2的Si衬底上，旋涂光刻胶，利用激光直写对光刻胶进行图形化；电子束蒸发得到金属电极；对残余光刻胶进行lift‑off；利用原子层沉积Al2O3对器件进行封装，制备得到具有光电流放大效果的宽光谱光电探测器

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114613880 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210142701.3 (22)申请日 2022.02.16 (71)申请人复旦