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本发明涉及晶圆加工设备技术领域,具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置,该装置包括真空转动轴,真空转动轴内具有排气通道;轴承,轴承转动装配在真空转动轴的外周;轴承安装体,轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过,轴承安装体内设置有抽吸通道,抽吸通道连通排气通道;磁性密封件,磁性密封件布置在轴承安装体内,在真空转动轴的轴线方向上,抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件;无磁性密封件,无磁性密封件布置在轴承安装体内,在真空转动轴的轴线方向上,抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114589073 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210313252.4
(22)申请日 2022.03.28
(71)申请人 河南通用智能装备有限公司
地址 4
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