单烷氧基硅烷及由其制备的致密有机二氧化硅膜.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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单烷氧基硅烷及由其制备的致密有机二氧化硅膜.pdf

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一种制备具有改善的机械性能的致密有机硅膜的方法，所述方法包括以下步骤：在反应室内提供衬底；向反应室中引入包含新型单烷氧基硅烷的气态组合物；以及在反应室中向包含新型单烷氧基硅烷的气态组合物施加能量以诱导包含新型单烷氧基硅烷的气态组合物的反应，从而在衬底上沉积有机硅膜，其中所述有机硅膜具有约2.80至约3.30的介电常数、约9至约32GPa的弹性模量和通过XPS测量的约10至约30的at.％碳。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114616652 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202080072635.6 R ·G ·里德格韦　雷新建　 (22)申请日 2020.09.