一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备.pdf

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本发明涉及清洗液生产技术领域，具体涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备；包括制备罐和冷却箱，冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，将清洗液组成原料依次导入制备罐内混合加热制备混合液，混合液导入箱体后，通过换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同时风机运作往冷风管内吹风，冷风管将风制冷后导入出风板，出风板将冷风吹出对混合液进行风冷散热，通过换热器和风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，从而有效的提高了清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114602351 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210246437.8 C11D 3/36 (2006.01)