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一种方法,是用于对将第一基板与第二基板接合而成的重合基板进行处理的方法,所述方法包括:沿所述第一基板的作为去除对象的周缘部与所述第一基板的中央部的边界形成周缘改性层;形成使所述周缘部处的所述第一基板与所述第二基板的接合强度减弱的未接合区域;以及以所述周缘改性层为基点来去除所述周缘部,在所述方法中,使第一龟裂从所述周缘改性层朝向所述第二基板延展,以使所述第一龟裂的下端比所述未接合区域更靠上方且所述未接合区域的内端比所述第一龟裂更靠径向外侧的方式形成所述周缘改性层。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114599479 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202080073881.3 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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