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本发明提供一种新型的白光干涉仪结构，包括第一驱动平台，在所述第一驱动平台上设置有白光发生单元、分束单元、信号采集单元，在第一驱动平台上还设置有反射单元，反射单元设置在分束单元后端，在第一驱动平台还设置有第二驱动平台，第二驱动平台设置有第一物镜、第二物镜以及参考镜，第一物镜和第二物镜平行设置，第一物镜上端与分束单元对应布置，第二物镜上端与反射单元对应布置，第二物镜下端与参考镜对应布置，待测物品设置在第一物镜下端。扫描时只需移动第二驱动平台即可进行待测物品高度方向上的测量，减轻了扫描系统的承重，解决
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114593690 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210286658.8
(22)申请日 2022.03.22
(71)申请人 深圳市鹰眼在线电子科技有限公司
地址
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