一种声波谐振器及滤波器.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种声波谐振器及滤波器.pdf

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本申请提供的一种声波谐振器及滤波器，用于提高谐振器及滤波器的品质因数Q值，其中一种声波谐振器，包括：衬底；声反射结构，设置在所述衬底的上表面；压电层，设置在所述声反射结构的上表面；电极结构，设置在所述压电层的上表面；其中，在所述压电层的谐振区域以外设置有沟道，所述沟道的深度小于所述压电层的厚度，所述沟道的宽度大于零且小于或等于从所述谐振区域的边界至所述压电层的边界的垂直距离，所述谐振区为所述压电层上与所述电极结构对应的区域。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114614792 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210231010.0 H03H 9/54 (2006.01)