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2023-05-12 发布于北京
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本发明提供了一种掩膜版组件，包括：外框架；与外框架固定的第一掩膜条，第一掩膜条沿第一方向延伸；分别与外框架和第一掩膜条固定的第二掩膜条，第二掩膜条沿不同于第一方向的第二方向延伸，第一掩膜条和第二掩膜条形成多个非对称分布的开口；其中，第一掩膜条在垂直于第一掩膜条的主表面的第三方向上具有不同的宽度，第一掩膜条在远离外框架的一侧宽度大于靠近外框架的一侧的宽度，且第一掩膜条在第三方向上的厚度大于预设值。通过本发明的掩膜版组件，提高第一掩膜条的强度，改善掩膜版组件因为受到非对称力，导致第一掩膜条发生形变的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114597245 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210206058.6 (22)申请日 2022.02.28 (71)申请人深圳市华星光电半导体显示技术有