高性能基座设备.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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高性能基座设备.pdf

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本申请涉及一种高性能基座设备，并公开了一种配置为支撑衬底并从基座提升衬底的衬底支撑和提升组件。该衬底支撑和提升组件可以包括基座支撑件和提升销。基座支撑件可以配置为在其上支撑基座。基座支撑件包括多个支撑臂，每个支撑臂从基座支撑件的中心部分径向延伸到末端。多个支撑臂中的每个包括延伸穿过其中的孔口。提升销可以配置为穿过相应支撑臂的孔口装配，以提升基座上的衬底。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114597157 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202111464473.3 (22)申请日 2021.12.03 (30)优先权数据 63/121,651 2020