场效应晶体管及其制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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场效应晶体管及其制备方法.pdf

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一种场效应晶体管的制备方法，其包括以下步骤：提供一石墨烯纳米带复合结构，该石墨烯纳米带复合结构包括一衬底和多个石墨烯纳米带，所述衬底具有多个间隔设置的凸起，该多个石墨烯纳米带间隔设置在所述衬底上，并且相邻凸起之间具有一所述石墨烯纳米带；以及将一叉指电极设置在所述石墨烯纳米带复合结构的表面，所述叉指电极覆盖所述多个凸起，并与所述多个石墨烯纳米带电连接。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114613677 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202011447911.0 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人清华大学