一种前驱体的输运装置以及半导体设备.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种前驱体的输运装置以及半导体设备.pdf

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本发明涉及一种前驱体的输运装置以及半导体设备，其中，前驱体的输运装置包括液体输送部、汽化装置以及第一管路，其中，液体输送部用于输送前驱体，汽化装置用于将前驱体汽化，液体输送部与汽化装置的输入端连接，汽化装置的输出端通过第一管路连通至反应腔室的上盖板上的进气口，汽化装置与上盖板的相对位置保持不变。本发明能够降低前驱体蒸汽发生冷凝的风险，同时降低蒸汽管路暴露于大气所导致的被污染的风险。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114607941 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210216890.4 F17D 3/01 (2006.01)