一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用.pdf

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本发明涉及光刻胶技术领域，涉及一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用。本发明借助香豆素衍生物高摩尔吸收系数的性质，引入金属重原子铱原子加强其分子内的系间窜越，通过激发三重态，进而引发与共引发剂有效的发生电子转移，改变了光刻胶的敏感波长，并提高了光酸的产率，改善光刻胶组合物中的光敏性，进一步增强光刻胶的灵敏度、单体的交联能力、光刻胶的线宽粗糙度、分辨率、成膜能力。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114573641 A (43)申请公布日 2022.06.03 (21)申请号 202210263819.1 (22)申请日 2022.03.17 (71)申请人大连理工大学地址 116024