结构化超导带单光子探测器.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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结构化超导带单光子探测器.pdf

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本发明公开了结构化超导带单光子探测器；本发明通过结构调控增加超导带对光子响应灵敏度，降低了常规超导单光子探测器对超导带宽度的要求，从而可实现高灵敏单光子探测，并具有探测面积大、速度快、制备简单，易于扩展到大规模阵列结构等特点。该单光子探测器自下到上依次包括衬底、几何调控超导带、电极、光学介质层和光学反射镜；制备方法主要包括：采用磁控溅射在衬底表面上沉积一层超导薄膜；采用光刻和剥离技术在超导薄膜上制备电极；利用电子束曝光技术和反应离子刻蚀技术在超导薄膜上制备具有结构化超导带形状；利用化学气相沉积技

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114597306 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210227149.8 G01J 1/42 (2006.01) (22)申请日 2022.03.0