一种用于多级干式真空泵的气路分配系统.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种用于多级干式真空泵的气路分配系统.pdf

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本发明属于真空泵领域，具体地说是一种用于多级干式真空泵的气路分配系统，包括集成模块、单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销与限流件。本发明通过调节调压阀、旋转流量调节销以及使不同孔径的限流孔的限流件与出气口连接，即可实现各输出管路间不同流量比例的气体输出，而无需更换气路；通过气路流量计的设置，可直接进行数据采集，并用于测量总进气量的大小；通过电磁阀的设置，方便控制分支通道的通断；通过单向阀的设置，保证配气的方向；通过将单向阀、调压阀、气路流量计、电磁阀、压力传感器、流量调节销

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114593036 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202011430519.5 F04B 49/10 (2006.01)