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本申请适用于微波封装技术领域,提供了W波段射频管壳结构和制备方法,该W波段射频管壳结构包括:基板,开设有贯穿基板两侧的通孔和盲槽,其中,基板分为相对设置的顶面基板和底面基板;导体层,形成于基板两侧,且基板两侧的导体层通过通孔互联;微带探针,半悬置于导体层上;芯片,设置于导体层上,与微带探针键合相连且互相隔离。本申请提供的W波段射频管壳具有宽宽带,低损耗的介质波导传输结构,同时具有精度高,一致性好,装配简单且气密的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114609498 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210096166.2 H01L 25/16 (2006.01)
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