一种大孔径有限回转的DD马达.pdfVIP

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2023-05-12 发布于四川
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一种大孔径有限回转的DD马达.pdf

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本发明公开了一种大孔径有限回转的DD马达，包括电机转子，所述电机转子的外侧套设有电机外壳，所述电机转子与所述电机外壳之间设置有安装区域，所述安装区域内设置有若干个连接组件，所述安装区域内位于两个连接组件之间设置有光栅尺组件，所述电机转子的外侧中部位置上设置有永久磁铁，所述永久磁铁的外侧套设有电机线圈，所述电机线圈的外侧套设有定子磁筒。本发明的有益效果是，本技术方案提供的大孔径有限回转的DD马达，结构设计巧妙，实用性较强，且运行稳定性高，使用寿命长，运用此大孔径有限回转的DD马达，满足了晶圆加工过

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114598110 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210272720.8 (22)申请日 2022.03.18 (71)申请人苏州天弘激光股份有限公司地址 2