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本申请实施例提供了一种硅棒切割系统的切割装置及硅棒切割系统。切割装置包括线锯组件,金刚线的切割段用于自上而下对竖向设置的硅棒进行切割;检测组件,与线锯组件连接,检测组件用于对每次切割完成后形成的实际切割曲面进行检测,得到实际切割曲面的形状;切割完成后形成的实际切割曲面是硅棒被切割后且边皮被取走后的实际切割曲面;线锯控制单元,与检测组件连接;线锯控制单元用于:根据上次切割的实际切割曲面的弯曲方向和弯曲程度,在下次切割过程中对切割段的切割位置进行动态调整。硅棒切割系统包括上述切割装置。本申请实施例能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114589824 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202111284174.1
(22)申请日 2021.11.01
(71)申请人 青岛高测科技股份有
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