一种晶圆传输装置.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.24千字
约 9页
2023-05-12 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆传输装置.pdf

1、本文档共9页，其中可免费阅读8页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供一种晶圆传输装置，包括支撑轴、连接件及机械手组，其中，连接件与支撑轴活动连接，且连接件沿支撑轴进行旋转及升降；机械手组中包括2个机械手，2个机械手均分别与连接件相连接，且2个机械手分别位于支撑轴的上下端并呈镜像分布，机械手组中的2个机械手结合连接件的运行对同一腔室分别进行晶圆的拾取及放置。本发明的晶圆传输装置各机械手可并行工作，可大大提高传输晶圆的效率；且呈镜像分布的机械手组，可大大节约平面的布置空间，降低整个机台的占地面积，给晶圆传输装置的维护留出空间，从而本发明的晶圆传输装置可提高

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114597149 A (43)申请公布日 2022.06.07 (21)申请号 202210233882.0 (22)申请日 2022.03.10 (71)申请人上海普达特半导体设备有限公司地址