一种基于二维材料异质结的铁电场效应晶体管及其制作方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种基于二维材料异质结的铁电场效应晶体管及其制作方法.pdf

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一种基于二维材料异质结的铁电场效应晶体管的制作方法，该方法利用二维铁电材料和去离子水的共同作用，通过施加门电压的方式，使得二维铁电材料和去离子水共同产生极化，使极化效应增强，共同作用于导电沟道，通过不同极化方向来调控沟道的电子掺杂浓度，从而改变沟道层的电阻大小，可使铁电场效应晶体管实现‘导通’和‘断开’的两种状态，对应于器件的低电阻态和高电阻态。由于去离子水的加入，使得极化效应大大增强了，器件的电阻率有很大的提高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114613678 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 202210247344.7 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人南京邮电大学地址 210003