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基板(WF)具有设置了成为功率器件的构造的多个芯片区域(RS),并设置有被处理膜(501)。通过一边使基板(WF)旋转一边使传感器(81)在径向上进行扫描,测定径向上的被处理膜(501)的厚度分布。计算出厚度分布的平均厚度(davg)。提取厚度分布具有平均厚度(davg)的至少一个径向位置来作为至少一个候补位置。将至少一个候补位置中的至少一个决定为至少一个测定位置。一边使基板(WF)旋转一边自喷嘴(52)朝基板(WF)的被处理膜(501)上供给处理液。一边使基板(WF)旋转,一边通过传感器(81
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114616649 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202080074806.9 (74)专利代理机构 隆天知识产权代理有限公司
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