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本发明公开了一种无需复杂相位较正的光调控器，包括：集成型温度稳定激光器、低损耗光分束器、低相位误差相位调制器阵列、无相位误差路由波导阵列和密集光学天线阵列。本发明采用低相位误差波导链路的设计，有效减弱了由于加工的不均匀性导致的波导宽度变化对波导有效折射率的影响，无需相位矫正便可实现远场光束的干涉以及扫描，大大减小了后期测试以及实际批量化应用的复杂性。本发明中采用“曼哈顿形”或其他路由路径，使得所有通道的光程相同，能够进一步减小由于环境温度变化所导致的通道间相位差的变化。本发明中所有的弯曲波导均采
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114609723 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202210177189.6
(22)申请日 2022.02.25
(71)申请人 浙江大学
地址 310027 浙江
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