保持设计文档内的分层结构信息.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种用于验证用于数字光刻的设计文档的验证设备，包括存储器及控制器。存储器包括设计文档。控制器被配置为访问设计文档，及向设计文档应用一个或多个合规性规则，以确定设计文档的合规性。合规性规则包括以下项目中的至少一者：检测设计文档内的非正交边缘；检测设计文档内的不合规重叠结构；及检测设计文档的参考层与设计文档的目标层之间的不合规交互作用。控制器更被配置为响应于将非正交边缘、不合规重叠结构、及不合规交互作用的数量与阈值进行的比较，来验证设计文档。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114616597 A (43)申请公布日 2022.06.10 (21)申请号 201980101774.4 (51)Int.Cl.