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一种场效应晶体管的制备方法，其包括以下步骤：提供一石墨烯纳米带复合结构，该石墨烯纳米带复合结构包括一衬底和多个石墨烯纳米带，该多个石墨烯纳米带间隔设置在所述衬底上并且沿同一方向延伸，所述衬底具有多个间隔设置的凸起；在每个石墨烯纳米带的两端间隔形成一源极及一漏极，并使该源极及漏极与该石墨烯纳米带电连接；形成一绝缘层于所述多个石墨烯纳米带远离衬底的表面；以及形成一栅极于所述绝缘层远离衬底的表面。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114613676 A
(43)申请公布日 2022.06.10
(21)申请号 202011447903.6
(22)申请日 2020.12.09
(71)申请人 清华大学
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