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本发明公开了一种旋转靶材用固定装置,旨在可以辅助抬举旋转靶材,方便调整旋转靶材与夹头的同轴度;同时,还提供了一种固定方法,其技术方案:一种旋转靶材用固定装置,包括相对布置的两个内撑夹头,两个所述内撑夹头均布置在同一导轨上,沿所述导轨的长度方向在两个所述内撑夹头之间依次设有若干个托举模块,所述托举模块包括托盘、用于升降托盘的顶升机构,所述顶升机构与导轨滑动连接,所述托盘上设有沿内撑夹头的轴向延伸的V型凹槽,当旋转靶材放置在V型凹槽内时其轴线与内撑夹头的轴线平行,属于靶材加工技术领域。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114589624 A
(43)申请公布日 2022.06.07
(21)申请号 202210210587.3 B24B 37/34 (2012.01)
(22)申请日 2022.03.
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