一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法.pdfVIP

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2023-05-12 发布于北京
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一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法.pdf

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本发明公开了一种改善金属盐中毒效应的MEMS硫化氢传感器及制备方法，涉及基于有机/无机复合纳米材料的硫化氢传感器技术领域，以解决现有抗中毒型硫化氢气体传感器的制备存在高耗能或合成工艺复杂的技术问题。传感器包括衬底、叉指电极以及附着于叉指电极表面的酸性聚合物/金属盐复合敏感膜。本发明的复合敏感膜内含的氢离子一方面与金属离子形成竞争掺杂影响敏感材料的导电能力，即在硫化氢氛围中金属离子脱掺杂与氢离子替补掺杂共同促进敏感膜自身的导电性，导致传感器电阻下降；另一方面在传感器恢复过程中提供酸性环境以在空气环

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 114577864 B (45)授权公告日 2022.07.12 (21)申请号 202210495837.2 CN 108693229 A,2018.10.23 (22)